第一百零四章

正所謂，數理化不分家。

顧律是數學和物理的雙料博士，沒有理由，化學能夠差到哪去。

納米二氧化鈰粉末的製備，非常簡單。

首先，稱取一定量的Ce(NO3)3-6H2O和六亞甲基四胺，配置成1：5的混合液。

第二步，混合液置於75攝氏度恒溫水箱中水浴保溫半小時。

第三步，在室溫環境下陳化，用離心法分離沉澱。

最後一步，將沉澱洗滌後置於真空乾燥箱中，在80攝氏度下烘乾。

這樣，經過以上四步之後，就可以得到納米二氧化鈰超細粉體。

二氧化鈰粉體呈球形，徑粒分布較均勻，徑粒約為10納米。

更重要的是，二氧化鈰質地較為柔軟，作為拋光磨料再也適合不過。

穿戴好白色的實驗服，戴好手套口罩，顧律有條不紊的開始操作。

將近一個小時後，顧律提著一個藍色的塑料小瓶，走出房間。

“顧先生，怎麼樣？”一直在門外等候的林經理走上前來問道。

“一切順利。”顧律摘下口罩，笑嗬嗬的把手中的塑料瓶遞給張經理，“我把實驗服換下來，然後我們再一塊去樓下車間試試效果。”

…………

幾分鐘後，顧律和張經理兩人再次走進車間。

黃師傅拿著一塊矽晶片板，一臉苦笑的走過來，“和顧先生說的一樣，這次的精度測試和之前相同，表麵粗糙度都在1納米以上。”

顧律接過那塊矽晶片，放在手中翻轉仔細看了一下，然後用手指感受了一下觸感，點點頭，“應該就是拋光液的原因，正好二氧化鈰拋光液已經製備出來了，再上機試一下吧。”

“我想這次，結果肯定會和之前大不相同的。”顧律嘴角上揚，語氣中帶著無比的自信。

拋光機夾持住矽晶片，接著放入納米二氧化鈰粉末拋光液，最後，按下啟動按鈕。

機器開始運轉。

顧律抱著胳膊，雙眼緊盯著儀器。

同時，腦海中不停回憶著在普林斯頓大學圖書館中，看過關於這方麵的內容。

在單矽晶片的化學機械拋光過程中，是主要存在化學腐蝕作用和機械磨削作用。

材料的去除，首先源於化學腐蝕作用。一方麵，在拋光過程中，矽片表麵局部接觸點產生高溫高壓，從而導致一係列複雜的摩擦化學反應。

納米二氧化鈰拋光液，其具有較高堿性組分和較柔軟的納米磨料顆粒。

在這兩者作用下，使矽片表麵形成腐蝕軟質層，從而有效地減弱磨料對矽片基體的刻劃作用，提高拋光效率和拋光表麵質量，相應的，提高拋光後矽晶片的精度。

…………

半個小時的時間，一晃眼就過去。

機器和矽晶片摩擦的聲音逐漸減小，直到消失。

設備停下後，張經理和黃師傅齊齊把目光看向顧律。

顧律笑了笑，“拿出來吧。”

黃師傅小心翼翼的將通過使用二氧化鈰拋光液製得的矽晶片取出來。

“你們用什麼設備看？”顧律掃視了一眼，發現這邊並沒有顯微鏡之類的設備。

“樓上有一台原子力顯微鏡。”張經理笑著開口。

原子力顯微鏡？

顧律知道，這玩意似乎貴的很。

再次回到那棟五層小樓，不過那台原子力顯微鏡就在一樓，倒是省去了爬樓的功夫。

走進那棟十幾平的小房間，顧律一眼就看到了張經理口中所說的那台原子力顯微鏡。

“米國DI公司產的MutimodeSPM版原子力顯微鏡？”在實驗室待過一段時間的顧律，一眼就認出來。

“你們買的？”顧律扭頭看向張經理。

據他所知，這台顯微鏡可不便宜，市場價，大概在二三十萬元！

就算是大部分高校的實驗室，都買不起這台設備。

張經理苦笑著搖搖頭，“租的。”

顧律：“……”

好吧，看這家公司連買二十多萬的拋光機設備都心疼成這樣子，讓他們買一台二十多萬的顯微鏡幾乎不可能。

但租的話……似乎也不便宜啊！

顧律湊近顯微鏡看了一眼。

“這是個殘次品。”還未等顧律看出來什麼，張經理主動問顧律解釋，“這台是淘汰下來的，幾百塊錢一年，很便宜，我們就租下來了。”

顧律：“……”

真的是毫不羞愧的直接承認下來了呢。

張經理似乎並不在意承認自己公司就是窮的一個事實。

“咳咳。”顧律尷尬的咳嗽了一下，“我們還是抓緊時間看一下數據吧。”

“顧先生，我來，還是你來。”黃師傅雙手捧著那塊矽晶片。

顧律戴上手套，搓搓手，“我來吧。”

原子力顯微鏡，回國之後顧律已經好久沒有摸過了。

好不容易有這個機會，顧律還是蠻想過過手癮的。

顧律拉過一把椅子，臉上帶著淡淡的期待坐下。

然後打開光源，小心翼翼的把顯微鏡移到自己麵前。

不過，顧律很快就後悔了。

怪不得張經理說這台顯微鏡是個殘次品。

特麼的實在是太坑了啊！

顧律這邊移動一下探針，顯示器那邊，足足卡了將近三十秒，才彈出一個數據。

移一下，卡三十秒，移一下，卡三十秒。

這三十秒裡，顧律就和那一閃一閃的顯示器大眼瞪小眼。

光是調試設備，顧律就用了十多分鐘。

“顧先生，這台顯示器有點不太靈敏，所以，有時候，要采用一些傳統暴力手段。”黃師傅在一旁訕笑一下，然後走上前，右手成掌，猛地一下拍在顯示器上。

砰——！

沉悶的聲音響起，顯示器畫麵模糊一下後，瞬間浮現出最新的數據。

顧律：“……”

這方式，確實夠傳統！

顯示器卡頓怎麼辦，多半是欠揍了，拍一下就好啦！

於是，在稍顯閉塞的房間裡，出現了一副顧律猛拍顯示器的畫麵。

和顯示器折騰了半小時後，屏幕上終於顯示出這塊矽晶片的數據。

Ra=0.089，RMS=0.113.

在1微米*1微米範圍內，微觀表麵的粗糙度，降低到驚人的0.089納米。

比之前測得的最低值1.06納米，足足降低了12倍！

…………

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