芯片加工廠的事按部就班的進行,王岸然也放下一塊大石頭。
不過這隻是開始,王岸然要買的不僅僅是一攤子設備,二是要消化技術。
就那光刻機來說,這套設備使用的是尼康生產的gkl107436納米波長紫光光源,用的是高壓汞燈過濾之後色波長。
這套設備用不了幾年就會被淘汰。
相比於市場上更為先進的248納米的紫光光源光刻機落後了兩代,中間相隔了一代365納米光源光刻機。
要知道365納米和248納米光源,中間隔了一道鴻溝。
436納米紫光光源演進到365納米紫光光源,隻能說是技術的進步,所用的光源都是高壓汞燈。
而到了248納米紫光光源,那就是技術的換代,所用的光源是鹵素激光光源。
而且,王岸然記得很清楚,在1995年,193納米紫光激光光源的光刻機在技術上已經取得重大突破,在今後的幾年也將投入市場。
要知道,芯片生產的核心裝備光刻機,每一次更新換代付出的代價,至少是百億美的數量級金,而且越往後越難。
曆史上,193納米紫光光刻機之後的換代,玩死了一大批老牌光刻機廠家。
原本全世界可以生產光刻機的有十三家,日本就有四家,到157納米光刻機之後,也就ASML能勉強活下來,其他一大批廠家要麼倒閉,要麼半死不活。
島國最頂尖的尼康和佳能,也因為方向錯誤,在157納米乾式光刻與ASML浸沒式光刻機在競爭中落敗。
再加上ASML又搞出個雙工作台技術,大大提高了芯片的生產力和精度。
讓兩大巨頭徹底從生產高端光刻機,淪為售賣中低端產品,再也無力最頂尖的極紫光光刻機的競爭。
到了9102年,全世界的高端市場,隻養活了一家ASML。
事實上,如果沒有台積電,Intel,三星等芯片巨頭的輸血,碩果僅存的ASML也將被市場的浪潮吞沒,光是台積電和三星,在2016年就投了20億歐元,砸在ASML身上。
難,真難,也不一定會取得成功,光刻機的研究就是吞金巨獸,有沒有意義?
這是肯定的。
這不是錢的事。
但光刻機,光刻膠,蝕刻機,封裝設備,光憑華芯科技一家,吃透這些技術基本上不可能,這需要調動全社會的力量。
在清大的光學研究所,王岸然生了一肚子的悶氣。
劉本清教授在激光光源上耕耘一生,在1971年,參與了我國第一台紫光乾涉激光的研製,在1980年,負責國家第一台接近式JL_01光刻機的研製。
他實在受不了,自己的研究工作,會受一個毛頭小夥子的指點。
而王黯然也是氣不過,自己在光學研究所投了上千萬,現在好了,就是增加一個浸沒式光刻機的探討研究,就這麼難?
“王總,我再重申一遍,浸沒式光刻機雖然在理論上可以縮小投影圖,不過在實際操作上,已經被證明了,這套技術行不通,研究下去就是浪費錢。”
“劉教授,我隻是建議在這上麵再做一些探討,而且這項技術並沒有證明行不通,而是還沒有行通。”
劉本偉不屑一顧。
“王總,我跟你說這句話是實事求是的,浸沒式光刻技術在七八年前就有立項,其中的困難跟你說,你也不清楚。
我隻想說明一點,有那個精力研究浸沒式光刻機,把精力投到紫光激光光源上,效果會好的多。”
看來在這個時代,大家的普遍意識就是,搞浸沒式光刻機是條絕路。
王岸然深吸一口氣,犟鴨子嘴硬的科研人員太多了,自己當初也是他們的一員,跟劉本清生氣,就是跟自己生氣。
這些人要是犯氣牛脾氣來,能把天捅破,唯一的解決之道,就是以德服人,哦,不,是以理服人。
“超高純度折射率液體,往往水裡有一粒微塵,或者一個氣泡,或者多了一些離子,都可能對加工造成巨大的影響。
再加上高純水浮在晶片上,目前的光刻膠中的分子會溶進水中,造成液體介質汙染,劉教授,我說的沒錯吧!”
劉本清在王岸然說第一句話的時候就愣住了,什麼情況,他懂。
待到王岸然將兩大技術難點合盤而出,劉本清說道:“王總,你……?”
王岸然裝著沒看見,背過身,繼續說道:“除了兩大問題,在實際操作中,也會麵臨平台的穩定性,校準係統,曝光時間等問題,需要按每台機器的類型多次調試……”
劉本清想給王岸然豎個大拇指,說一聲牛,這些資料可不怎麼容易找到。
“王總,既然你知道浸沒式光刻機的缺陷,還需要繼續堅持嗎?”
王岸然點點頭,說道:“為什麼不!劉教授,高純水介質我們可以自己研發也可以跟外國合作,厭水光刻膠我們也可以這麼辦,當然,也可以考慮在光刻膠上再噴一道絕水薄膜,沒有試過,怎麼知道不行!”
“我們試過很多種辦法!”
“那就再試,試到解決為止……”
王岸然毫不客氣,作為投資人,他是來發布命令的,而不是跟你討價還價。
浸沒式光刻機肯定是未來的方向,而且波長越長,通過折射後,縮微的效果越明顯。
況且,光刻機的波長並能完全決定芯片的製程,通過特定的曝光方式也可以提高製程。
事實證明,193納米的紫光光源,也可以進行65納米芯片工藝的生產。
以前世對半導體芯片製造的理解,浸沒式光刻,多重曝光方式能夠取得進步的話,完全可以將這台東芝的二手貨,改造成一台可以生產800納米工藝的芯片加工廠,甚至更為先進的320納米工藝也不是不可能。
隻不過芯片生產的效率,肯定會差很多,但至少說明一點,我們掌握了這項技術。
而且通過這一過程,華芯科技還可以積累這部分的專利,在ASML前麵設置一套專利壁壘。
至於這套專利有什麼用,王岸然無法評估,按照他的估計,到那個時候,美利堅政府應該也會插手吧!
還有五年的時間,王岸然在紙上寫下磁懸浮雙工作台,浸沒式光刻係統,兩大未來發展方向。
這次他不打算,光靠國內研究機構的力量。
“該到尋找外援的時候了!”